Mapping-Sensor – Präzision auf engstem Raum von Balluff

Für das Wafer-Mapping bietet Balluff einen hochgenauen optoelektroni­schen Sensor, der sich perfekt in die Endeffektorden  integrieren lässt. Speziell für die zum Teil besonders dünnen Endeffektoren entwi­ckelt, verfügt der kompakte Mapping-Sensor BOH TI-R002 über einen extrem kontrollierten und fokussierten Lichtspot mit herausragender Homogenität. Damit bietet er höchste Präzision auf engstem Raum: Er erkennt jederzeit sicher die Kanten der nur wenige μm-dicken Wafer und damit auch volle Slots, doppelte Wafer oder Wafer in Schieflage.

Der Mapping-Sensor mit einer Reichweite von bis zu 800 mm basiert auf der opto­elektronischen Micromote®-Technologie, die  außergewöhnlich kleine optische Sensorköpfe mit einer externen Auswerte­einheit (Verstärker) kombiniert und über ein hochflexibles Kabel verbindet. Dank eines modularen Baukastensystems lassen sich die Sensorköpfe der Micromote-Sensoren leicht perfekt an solche spezifischen mechanischen Einbausituationen anpassen.

Bei den Micromote-Sensoren ist bereits die gesamte Optoelektronik in den Sensorkopf integriert ist, so gibt es keine Verluste, wie sie bei Faseroptiken beim Einkoppeln des Lichtes auftreten. Die Signalübertragung zum Sensorkopf erfolgt rein elektrisch über hochflexible Anschlussleitungen ohne Rücksicht auf Mindestbiegeradien nehmen zu müssen, da die Kabel überragende Eigenschaften hinsichtlich Reiß- und Bruchfestigkeit aufweisen. Bei einem Durchmesser von 1,8 mm halten sie auch noch einer Zugbelastung von bis zu 90 kg stand.


Über die Balluff GmbH

1921 in Neuhausen a. d. F. gegründet, steht Balluff mit seinen 4000 Mitarbeitern weltweit für innovative Technik, Qualität und branchenübergreifende Erfahrung in der industriellen Automation. Als führender Automatisierungsspezialist bietet das Familienunternehmen in vierter Generation ein umfassendes Portfolio innovativer Sensor-, Identifikations- und Netzwerktechnologien und Software für ganzheitliche Systemlösungen an.

Neben dem zentralen Firmensitz in Neuhausen auf den Fildern verfügt das Unternehmen rund um den Globus über Produktions- und Entwicklungsstandorte sowie Niederlassungen und Repräsentanzen. Dies garantiert seinen Kunden eine schnelle weltweite Verfügbarkeit der Produkte, einen perfekten Service und eine hohe Beratungsqualität direkt vor Ort.

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